| 发明名称 |
METHOD OF FORMATION OF STRUCTURES IN MICROLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2072644(C1) |
申请公布日期 |
1997.01.27 |
| 申请号 |
RU19930033063 |
申请日期 |
1993.06.24 |
| 申请人 |
INSTITUT PROBLEM MIKROELEKTRONIKI I OSOBOCHISTYKH MATERIALOV RAN |
发明人 |
KUDRYASHOV VLADIMIR A |
| 分类号 |
H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
H05K3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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