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发明名称 PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANTS SEMICONDUCTEURS AVEC RECUPERATION DE SUBSTRAT PAR VOIE ELECTROCHIMIQUE.
摘要
申请公布号 FR2684800(B1) 申请公布日期 1997.01.24
申请号 FR19910015138 申请日期 1991.12.06
申请人 PICOGIGA SA 发明人 NUYEN LINH T.
分类号 H01L21/3063;H01L21/20;H01L21/338;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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