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发明名称 Vorrichtung zur winkelauflösenden optischen Untersuchung einer Probe
摘要
申请公布号 DE59304722(D1) 申请公布日期 1997.01.23
申请号 DE19935004722 申请日期 1993.06.08
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 RUDOLPH, GUENTER, D-6900 JENA, DE
分类号 G01B5/00;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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