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发明名称
摘要
申请公布号 JP2573108(B2) 申请公布日期 1997.01.22
申请号 JP19910169305 申请日期 1991.06.14
申请人 HANDOTAI ENERGY KENKYUSHO 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23C14/56;C23C16/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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