| 发明名称 |
SOI WAFER AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0922993(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
| 申请号 |
JP19950195952 |
申请日期 |
1995.07.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
INABA EISAKU;MIYAGAWA MASAFUMI;HOJO AKIMICHI;TAKAHASHI SHOICHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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