发明名称 PRODUCTION OF WATER OF ULTRA-HIGH PURITY AND EQUIPMENT THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0920501(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950170638 申请日期 1995.07.06
申请人 NIPPON SEISAN GIJUTSU KENKYUSHO:KK 发明人 GOMI YASUAKI;SHIYOU TADASHI
分类号 C01B5/00;(IPC1-7):C01B5/00 主分类号 C01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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