发明名称 WAFER FLIP APPARATUS
摘要
申请公布号 KR970000967(B1) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 KR19880001178 申请日期 1988.02.09
申请人 PERKIN ELMER CORP. 发明人 WILLIAM, BYERS;PETER, KOCHERSPERGER
分类号 H01L21/677;B65G49/07;B65H5/18;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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