发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0922998(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950168450 申请日期 1995.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AWANO YUJI
分类号 H01L29/43;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/76;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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