发明名称 COMPOSITE POLISHING CLOTH
摘要
申请公布号 JPH0922886(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950192658 申请日期 1995.07.06
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 TAKEUCHI MASAYA
分类号 B24D7/14;B24D13/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24D7/14
代理机构 代理人
主权项
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