发明名称 WORKPIECE TESTING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0922931(A) 申请公布日期 1997.01.21
申请号 JP19950171861 申请日期 1995.07.07
申请人 HITACHI LTD;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD 发明人 FUNAYAMA SHINYA
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利