发明名称 IMPROVED STICKING LAYER FOR TUNGSTEN ACCUMULATION
摘要
申请公布号 JPH0917747(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19960146216 申请日期 1996.06.07
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 IBUO RAIJIMAAKAA
分类号 C23C16/02;C23C8/02;C23C8/36;C23C14/58;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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