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发明名称
IMPROVED STICKING LAYER FOR TUNGSTEN ACCUMULATION
摘要
申请公布号
JPH0917747(A)
申请公布日期
1997.01.17
申请号
JP19960146216
申请日期
1996.06.07
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
IBUO RAIJIMAAKAA
分类号
C23C16/02;C23C8/02;C23C8/36;C23C14/58;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320
主分类号
C23C16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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