发明名称 Verfahren zum plasmaaktivierten Hochgeschwindigkeits-Bedampfen großflächiger Substrate
摘要
申请公布号 DE19612345(C1) 申请公布日期 1997.01.16
申请号 DE19961012345 申请日期 1996.03.28
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 NEUMANN, MANFRED, DR., 01277 DRESDEN, DE;SCHILLER, SIEGFRIED, PROF. DR., 01324 DRESDEN, DE;MORGNER, HENRY, 01257 DRESDEN, DE;STRAACH, STEFFEN, 01187 DRESDEN, DE;SCHILLER, NICOLAS, DR., 01833 HELMSDORF, DE
分类号 C23C14/08;C23C14/32;C23C14/56;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24;H01J37/34 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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