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发明名称
摘要
申请公布号
JP2570805(B2)
申请公布日期
1997.01.16
申请号
JP19880103378
申请日期
1988.04.26
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
HAYAKAWA MORIE;OKADA SHIGENOBU
分类号
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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