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发明名称 COATING LIQUID APPLICATION METHOD AND COATING LIQUID APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH097920(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950153125 申请日期 1995.06.20
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 G03F7/16;B05C11/06;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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