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发明名称
POSITION MEASURING METHOD AND MEASURING JIG USED THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH097520(A)
申请公布日期
1997.01.10
申请号
JP19950156432
申请日期
1995.06.22
申请人
SONY CORP
发明人
FUKUTANI AKIHITO
分类号
G01B5/00;G01B5/012;G01B5/016;G01B21/00;H01J9/42;(IPC1-7):H01J9/42
主分类号
G01B5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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