发明名称 Silizid/Metall-Kapazität für Polysiliziumgate
摘要
申请公布号 DE69123295(D1) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE19916023295 申请日期 1991.07.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 PATERSON, JAMES L., RICHARDSON TEXAS 75080, US
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/28;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788;H01L29/41;H01L29/92 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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