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发明名称 Elektronenmikroscop mit Kamera und Verfahren zum Betrieb desselben
摘要
申请公布号 DE69306205(D1) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE19936006205 申请日期 1993.09.10
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YONEHARA, KATSUHISA, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP;KATSUTA, TEIJI, MITO-SHI, IBARAKI 310, JP;MATSUI, ISAO, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP
分类号 H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/295;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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