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发明名称 Halbleitereinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung
摘要
申请公布号 DE19605235(A1) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE1996105235 申请日期 1996.02.13
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIMURA, MASATOSHI, TOKIO/TOKYO, JP;SUGIYAMA, MASAO, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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