| 发明名称 |
LIGHT-SENSITIVE NOVOLAC RESINS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0403580(B1) |
申请公布日期 |
1997.01.08 |
| 申请号 |
EP19890906609 |
申请日期 |
1989.05.08 |
| 申请人 |
HOECHST CELANESE CORPORATION |
发明人 |
SHALOM, EITAN |
| 分类号 |
G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03C1/54;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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