发明名称 Thermal photodetector and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0510920(B1) 申请公布日期 1997.01.08
申请号 EP19920303571 申请日期 1992.04.22
申请人 SHIMADZU CORPORATION 发明人 KITA, JUN-ICHI;KISHIHARA, HIROYUKI
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/06;G01J5/34;H01L37/02;(IPC1-7):G01J5/10;H01L37/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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