| 发明名称 |
MANUFACTURE OF LARGE SPUTTERING TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH093636(A) |
申请公布日期 |
1997.01.07 |
| 申请号 |
JP19950159374 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
NAGAHAMA MUTSUHISA;KANAMARU MORIYOSHI |
| 分类号 |
C01G15/00;B28B3/00;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C01G15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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