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发明名称 DEVICE FOR TRANSPORTING AND POSITIONING SEMICONDUCTOR WAFER-TYPE WORKPIECES
摘要
申请公布号 KR970000007(B1) 申请公布日期 1997.01.04
申请号 KR19900010491 申请日期 1990.07.11
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUR HALBLEITER MATERIALIEN AG 发明人 MULLER, ALOIS;SEIDL, HELMUT;WIMMER, ERICH;EIGNER, LASZLO
分类号 B65G49/07;B65G51/03;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):B65G51/03 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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