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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING IMPURITIES ON PLATE SURFACE
摘要
申请公布号 EP0749574(A1) 申请公布日期 1996.12.27
申请号 EP19950910563 申请日期 1995.03.02
申请人 KOLARI, MATTI 发明人 KOLARI, MATTI
分类号 B60S1/08;G01N21/43;G01N21/55;(IPC1-7):G01N21/55 主分类号 B60S1/08
代理机构 代理人
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