| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIELECTRIC THIN FILM AND MANUFACTURE OF FERROELECTRIC MEMORY DEVICE EMPLOYING THE DIELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08335580(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950141749 |
申请日期 |
1995.06.08 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
OGIMOTO YASUSHI;OGATA NOBUHITO |
| 分类号 |
C30B23/06;C30B29/32;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/8247;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/824 |
主分类号 |
C30B23/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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