| 发明名称 |
METHOD FOR PURIFYING RINSING WATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08332478(A) |
申请公布日期 |
1996.12.17 |
| 申请号 |
JP19950167067 |
申请日期 |
1995.06.09 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SO KEISEN;SATO HIROAKI;TOKUNAGA KATSUHIKO |
| 分类号 |
B01D17/022;C02F1/28;C02F1/58;(IPC1-7):C02F1/28 |
主分类号 |
B01D17/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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