| 发明名称 |
SEQUENTIAL SPUTTERING WITH MOVABLE TARGETS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3537973(A) |
申请公布日期 |
1970.11.03 |
| 申请号 |
USD3537973 |
申请日期 |
1967.09.15 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
LAWRENCE F. HERTE;RICHARD F. LAIB |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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