发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Vorbereitung einer Entwicklerlösung
摘要
申请公布号 DE69303883(T2) 申请公布日期 1996.12.05
申请号 DE19936003883T 申请日期 1993.11.05
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 TAGUCHI, SATOSHI, ICHIHARA-SHI, CHIBA, JP;SUETSUGU, MASUMI, ICHIHARA-SHI, CHIBA, JP;NAGASE, TSUTOMU, SODEGAURA-SHI, CHIBA, JP;NAKAGAWA, NORIKAZU, ICHIHARA-SHI, CHIBA, JP
分类号 B01F3/08;B01F15/04;G03D3/06;G03F7/00;G03F7/30;G05B1/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/30 主分类号 B01F3/08
代理机构 代理人
主权项
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