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发明名称 Herstellungsverfahren für ein Dünnschichtmuster mit trapezförmigem Querschnitt
摘要
申请公布号 DE69120729(T2) 申请公布日期 1996.12.05
申请号 DE19916020729T 申请日期 1991.05.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 HARAGUCHI, HIROSHI, C/O INTELL. PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;TSUJI, HITOSHI, C/O INTELL. PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;OTANI, YASUTO, C/O INTELL. PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KUMAMARU, KUNIAKI, C/O INTELL. PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/302;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/321;G03F7/09 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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