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发明名称 FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND AND SEMICONDUCTOR FABRICATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08316192(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950119625 申请日期 1995.05.18
申请人 CANON INC 发明人 KUNIYONE KAZUO
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/205;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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