发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PROBE-TYPE MEASUREMENT OF SURFACE ROUGHNESS
摘要
申请公布号 JPH08313248(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950122110 申请日期 1995.05.22
申请人 KOSAKA KENKYUSHO:KK 发明人 TANAKA NOBUYUKI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
地址