发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08316312(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950118094 申请日期 1995.05.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YASUMOTO AKIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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