| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08316233(A) |
申请公布日期 |
1996.11.29 |
| 申请号 |
JP19950178053 |
申请日期 |
1995.06.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HASUNUMA MASAHIKO;ITOU SACHIYO;SHIMAMURA KEIZO;KANEKO HISAFUMI;HAYASAKA NOBUO;TSUTSUMI JUNSEI;KAJITA AKIHIRO;WADA JUNICHI;OKANO HARUO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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