发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08316315(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950122095 申请日期 1995.05.22
申请人 SONY CORP 发明人 GOCHO TETSUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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