Photoempfindliche Kunststoffzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Feinstrukturen mit dieser Zusammensetzung,申请号DE19873751769T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Photoempfindliche Kunststoffzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Feinstrukturen mit dieser Zusammensetzung
摘要
申请公布号	DE3751769(T2)	申请公布日期	1996.11.28
申请号	DE19873751769T	申请日期	1987.09.11
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	HASEGAWA, MASAZUMI, SHINNANYO-SHI YAMAGUCHI, JP;ENDO, MASAYUKI, 1006 OAZA KADOMA KADOMA-SHI OSAKA, JP;OGAWA, KAZUFUMI, 1006 OAZA KADOMA KADOMA-SHI OSAKA, JP;TODOKO, MASAAKI, SHINNANYO-SHI YAMAGUCHI, JP;FUKUDA, MITSUTOSHI, TOKUYAMA-SHI YAMAGUCHI, JP
分类号	G03F7/09;G03F7/095;G03F7/11;(IPC1-7):G03F7/095	主分类号	G03F7/09
代理机构		代理人
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