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发明名称
Musterherstellungsverfahren und Resist zum Benutzen in diesem Verfahren
摘要
申请公布号
DE69122785(D1)
申请公布日期
1996.11.28
申请号
DE1991622785
申请日期
1991.01.18
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
KOTACHI, AKIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP;TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, TOKYO 194, JP
分类号
G03F7/004;G03F7/075;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/075
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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