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发明名称 Vorrichtung zum Handhaben von Substraten in Reinsträumen und mit einer derartigen Vorrichtung versehene Schleuseneinrichtung
摘要
申请公布号 DE9321267(U1) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19930021267U 申请日期 1993.09.27
申请人 GENTISCHER, JOSEF, DIPL.-ING. (FH), 73630 REMSHALDEN, DE 发明人
分类号 B01L1/04;H01L21/677;(IPC1-7):F24F7/00 主分类号 B01L1/04
代理机构 代理人
主权项
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