| 发明名称 |
METHOD OF FORMING PERPENDICULAR SIDEWALL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08306672(A) |
申请公布日期 |
1996.11.22 |
| 申请号 |
JP19960088274 |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
YANGU FUUN RII;KIISU REIMONDO MIRUKOBU;JIYON UIRIAMU SUTAIBURITSUTSU JIYUNIA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/823;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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