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经营范围
发明名称
Photolackzusammensetzung und Strukturierungsmethode
摘要
申请公布号
DE69120842(T2)
申请公布日期
1996.11.21
申请号
DE1991620842T
申请日期
1991.03.06
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
KOTACHI, AKIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP;TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, TOKYO 194, JP
分类号
C08F20/02;C08F20/22;C08F20/52;C08F30/08;C08F220/02;C08F220/22;C08F220/56;C08F220/58;C08F230/08;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/075
主分类号
C08F20/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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