| 发明名称 |
Magnetic field enhanced sputtering arrangement and vacuum treatment installation therewith |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU673727(B2) |
申请公布日期 |
1996.11.21 |
| 申请号 |
AU19940061831 |
申请日期 |
1994.05.02 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ROMAN SCHERTLER;WALTER HAAG;PETER KOHLER |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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