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发明名称 METHOD OF MANUFACTURE OF THIN-FILMED CARBON TARGET
摘要
申请公布号 RU2069454(C1) 申请公布日期 1996.11.20
申请号 RU19930049159 申请日期 1993.10.19
申请人 ROSSIJSKIJ NAUCHNYJ TSENTR "KURCHATOVSKIJ INSTITUT" 发明人 LIKHTENSHTEJN VITALIJ KH;OLSHANSKIJ EVGENIJ D;GOLYANOV VYACHESLAV M;IVKOVA TAMARA M
分类号 H05H6/00;C23C4/10;(IPC1-7):H05H6/00 主分类号 H05H6/00
代理机构 代理人
主权项
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