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经营范围
发明名称
PLASMA FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR960009903(Y1)
申请公布日期
1996.11.18
申请号
KR19930012024U
申请日期
1993.07.01
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD
发明人
PARK, INN-DUK
分类号
G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/36
主分类号
G03F7/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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