发明名称 PLASMA FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR960009903(Y1) 申请公布日期 1996.11.18
申请号 KR19930012024U 申请日期 1993.07.01
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, INN-DUK
分类号 G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/36 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
主权项
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