发明名称 Verfahren zum Herstellen von Teilbereichen in planaren Halbleiteranordnungen,die mittels dielektrischen Materials gegeneinander sowie gegen die restlichen Bereiche des Halbleiterkoerpers isoliert sind
摘要
申请公布号 DE1764453(A1) 申请公布日期 1971.07.22
申请号 DE19681764453 申请日期 1968.06.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 PHILIP CASTRUCCI,PAUL;WESTLEY MASON,JOHN
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/762 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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