发明名称 Method of cooling a substrate cut by a pulsed laser beam
摘要
申请公布号 IL119159(D0) 申请公布日期 1996.11.14
申请号 IL19960119159 申请日期 1996.08.29
申请人 RAMOT UNIVERSITY AUTHORITY FOR APPLIED RESEARCH & INDUSTRIAL DEVELOPMENT LTD 发明人
分类号 H01L;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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