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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD AND APPARATUS
摘要 A method and mandrel apparatus (55) for making a unibody containment structure, such as a crucible (40) formed of PBN, having a negative draft (B), via chemical vapor deposition.
申请公布号 WO9634994(A1) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 WO1996US06223 申请日期 1996.05.03
申请人 CVD PRODUCTS, INC. 发明人 DONADIO, ROBERT, F.
分类号 C30B23/08;C04B35/583;C23C14/24;C23C16/01;C23C16/34;C30B23/06;F27B14/10;F27D1/16;H01L21/203;(IPC1-7):C23C16/46;C23C16/52;B28B7/16;B28B21/42;B01D7/02 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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