发明名称 KOLLIMATOR MIT LANGER LEBENSDAUER
摘要
申请公布号 DE69209319(T2) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 DE19926009319T 申请日期 1992.12.29
申请人 MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US 发明人 HURWITT, STEVEN, D., PARK RIDGE, NJ 07656, US
分类号 C23C14/34;C23C14/04;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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