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经营范围
发明名称
CLEANING OR ETCHING GAS
摘要
申请公布号
JPH08291299(A)
申请公布日期
1996.11.05
申请号
JP19950096985
申请日期
1995.04.21
申请人
CENTRAL GLASS CO LTD
发明人
MORI ISAMU;SAKAGUCHI HIROAKI
分类号
C11D7/28;C09K13/08;C11D7/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C11D7/28
主分类号
C11D7/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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