发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08288504(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950089282 申请日期 1995.04.14
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO MICHIHIRO
分类号 H01L29/43;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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