| 发明名称 |
METAL SULFIDE THIN FILM PATTERN FORMING COMPOSITION, ITS PRODUCTION, FORMATION OF METAL SULFIDE THIN FILM PATTERN AND PRODUCTION OF ELECTRONIC PARTS AND OPTICAL PARTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08283948(A) |
申请公布日期 |
1996.10.29 |
| 申请号 |
JP19950181783 |
申请日期 |
1995.07.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SOYAMA NOBUYUKI;YONEZAWA MASA;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
G03F7/004;C01G9/08;C23C18/14;(IPC1-7):C23C18/14 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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