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经营范围
发明名称
METHOD FOR VAPORIZING SUBLIMABLE METALLIC MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH08283942(A)
申请公布日期
1996.10.29
申请号
JP19950113885
申请日期
1995.04.14
申请人
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD
发明人
TAKASHIMA KOJI;KAWAGUCHI NORIHITO;YOSHIZAWA KOKI;SHINOHARA JOSHI;YAMADA TATSUJI
分类号
C23C14/14;C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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