发明名称 METHOD FOR VAPORIZING SUBLIMABLE METALLIC MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH08283942(A) 申请公布日期 1996.10.29
申请号 JP19950113885 申请日期 1995.04.14
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 TAKASHIMA KOJI;KAWAGUCHI NORIHITO;YOSHIZAWA KOKI;SHINOHARA JOSHI;YAMADA TATSUJI
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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