| 发明名称 |
Pattern-forming method and radiation resist for use when working this pattern-forming method |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0439289(B1) |
申请公布日期 |
1996.10.23 |
| 申请号 |
EP19910300388 |
申请日期 |
1991.01.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
KOTACHI, AKIKO;TAKECHI, SATOSHI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/075;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
